二手 KLA / TENCOR F5x #293587509 待售

KLA/TENCOR F5x是一種晶片測試和計量設備,其設計目的是在測試晶片基板和測量表面缺陷水平方面達到高精度和高速度。這臺高科技儀器利用先進的光學和多光譜成像技術，創建了被測表面的詳細圖像，從而能夠識別和量化晶圓缺陷。該系統能夠掃描前後兩側的晶片,以不同角度捕捉圖像,並以極高的精度測量微結構的高度、尺寸和位置。KLA F5x還具有檢測表面材料中不同水平對比度的能力，並且還能夠檢查反射表面。該單元擁有一種自動平坦度算法，可確保精確度降至原子水平，使其更有能力執行前沿半導體應用所需的高端計量。這包括斜坡和缺陷表征的缺陷姿勢、錐形和圖案化表面檢查以及掩蔽。TENCOR F5 X機的光學計量包括CCD成像,它使用數百個統計變量來測量和檢測基板背面、側壁和頂面的表面缺陷。這會導致更快的開發時間,因為可以輕松地檢查和檢測功能,以及加快生產速度。F 5 X還具有將樣本映射和分類為多種類別的能力，如缺陷、好、中間或壞晶片。KLA/TENCOR F 5 X工具易於使用,其功能使其非常適合研究人員、產品開發人員和生產工程師。它可以用作獨立資產或與工廠自動化集成。KLA F 5 X型號的靈活性允許其用戶將其配置為滿足特定需求，如按缺陷級別排序、創建掩碼或設置每個產品的靈敏度。總體而言，TENCOR F5x晶圓測試和計量設備是一種可靠、精確、高效的精確檢測和測量表面的工具。憑借其先進的光學、成像技術和自動化算法，F5x系統可以快速檢測和量化表面缺陷，測量到原子水平的平坦度，並生成被測試表面的詳細圖像。