二手 KLA / TENCOR F5x #9236720 待售

KLA/TENCOR F5x是一種晶圓測試和計量設備，利用先進的技術為半導體晶圓的測試和檢驗提供全面的解決方案。KLA F5x配備了一系列自動晶片檢查工具,可對過程、產量、自動化和高級故障分析進行晶片級測試。TENCOR F5 X由幾個關鍵組件組成,包括用於照明晶片表面的LED陣列、捕獲反射信號以優化噪聲的集成光學檢測系統和確保圖像數據最高精度的高精度運動級。此外,TENCOR F5x還利用數字圖像關聯（DIC）,並采用全矽級單元（SLS）技術或SLS 9352平臺來測量圖像特征和識別缺陷。F5x既可以檢查圖案化晶片也可以檢查裸晶片，還可以檢查高級工藝步驟，如叠加檢查和計量分析。另外，KLA/TENCOR F5X配有快速分割算法，能夠快速準確地檢測粒子和粒子的形狀參數並進行量化。KLA F 5 X是一個多用途的平臺，允許用戶調整操作和設置，以觀察各種缺陷。它還可以利用由圖像分析、對比度檢測和測量三個不同階段處理的自動晶片缺陷吞吐量。其先進的能力包括檢查晶體管閘門、MOS帽和接觸通氣的能力，此外還有常規的掩模缺陷和粒子缺陷。此外,F5 X還設計了一種主動傳輸機器,可簡化晶圓在各級之間的移動和定位,以及快速的負載和卸載時間,使其成為高通量處理的理想選擇。它還具有直觀的用戶界面和用戶友好的工作流編程功能,使用戶能夠精確控制該工具,並根據其應用程序的特定需要對其進行配置。總體而言,KLA/TENCOR F5x為晶圓測試和計量提供了一個全面的解決方案,可確保快速準確的結果。KLA擁有先進的技術和功能,F5x各種檢查和缺陷檢測要求的最佳選擇。