二手 KLA / TENCOR F5x #9243619 待售
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ID: 9243619
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 12"
FOUP: (2) TDK TAS300
YASUKAWA Robot
PC System
Hard Disk Drive (HDD) missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR F5x是一種用於半導體器件制造質量保證的最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在提供對各種晶圓特性的高度精確和可重復的測量。KLA F5x具有先進的CCD攝像機系統,可對測試晶片的地形進行精確和可重復的測量,以及全套故障分析和缺陷密度應用。它是完全自動化的,允許嚴格控制過程測量,以幫助確保半導體器件的最高質量標準。TENCOR F 5 X采用了多種成像技術，包括檢查和計量能力。具體而言，其CCD相機單元捕獲614個不同段中晶圓的圖像，每個段使用光譜光度法進行分析，以提取詳細的光學光散射特性。接下來是一系列自動化測試,如臨界尺寸（CD）和缺陷密度測量測試,以及模模缺陷評估。除了CCD攝像機之外,F5x還配備了集成的光學剖面儀,提供3D地形信息和實時橫截面成像。它還包括一整套故障分析功能，包括自動缺陷定位和分類、故障透射電子顯微鏡（TEM）叠加，以及用於進一步分析的缺陷隔離。最後,F5 X提供了一套全面的數據分析工具,使用戶能夠快速可靠地解釋、導出和應用晶圓測試和計量應用程序中的數據,以幫助優化過程控制。這包括訪問一系列統計算法，幫助監測非隨機趨勢和模式。綜上所述，KLA/TENCOR F5 X是半導體器件晶圓測試和計量的一種高度先進的工具。它提供了一個用於測量和評估地形、故障分析和缺陷密度的自動化平臺,同時還提供了一系列數據分析工具來支持過程優化。TENCOR F5x的強大功能為確保半導體器件生產的最高質量標準做出了寶貴貢獻。
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