二手 KLA / TENCOR F5x #9270868 待售

KLA/TENCOR F5x是為半導體生產而設計的晶圓測試和計量設備。它使用先進的光學成像和檢查技術來優化生產過程產量,同時確保所有晶片的均勻性。該系統利用自動晶片提升器在成像室和分析室之間傳輸晶片，使用戶能夠準確快速地分析和檢查每個晶片。該單元包括兩個高分辨率攝像機，一個用於成像，一個用於自動檢查。成像攝像機以高達30 nm的分辨率捕獲晶片中的數據,從而實現精確、快速的數據收集。然後使用專有算法分析這些數據,以創建晶圓的復雜2D圖像。檢測攝像機還利用高分辨率光學器件捕獲缺陷數據，對其進行自動分析報告，便於解讀檢測結果。KLA F5x使用先進的掃描技術如亮場、暗場、熒光和截面成像，在廣泛的波長範圍內生成高分辨率圖像。然後使用高級算法對這些圖像進行分析,以檢測晶圓內的缺陷、非均勻性和其他特性。然後使用此數據生成質量指標,如晶圓產量、設備性能和排泄率。該機還配備了原位樣品溫度和環境控制工具，可用於監測汙染水平，減少環境影響的影響。這是通過限制可能影響晶圓結果的溫度和氣壓波動來實現的。TENCOR F 5 X還包含多種旨在提高工藝速度和精度的功能。其中包括與資產可操作性的直接連接、自動晶圓狀態更新、圖像註冊和集成生產模型。所有這些特性的結合使得KLA F 5 X成為需要高速、精確晶圓測試和計量的半導體制造商的理想選擇。