二手 KLA / TENCOR F5x #9270988 待售

KLA / TENCOR F5x
ID: 9270988
Film thickness measurement system, 12" 2003 vintage.
KLA/TENCOR F5x是一種高性能晶圓測試和計量設備,旨在實現半導體和其它基於晶圓的元件的精確性能。該系統圍繞若幹核心技術和組件構建,包括獲得專利的高通量servofeeder、掃描光學計量、高頻激光測量以及用於模式識別和缺陷檢測的先進軟件。KLA F5x的核心是一個強大的光學單元,它可以在幾秒鐘內自動檢查數千個芯片。這臺機器采用大尺寸、重量輕的鏡頭陣列,具有高的數值光圈和熱穩定性能,使TENCOR F5 X具有高達250毫米直徑的優越吞吐量。該工具還具有超聲波檢測功能,它允許無損缺陷分析到亞微米級。此外,KLA/TENCOR F 5 X包括一個專門設計的懸臂晶片檢測頭,通過快速重新定位晶片平臺來掃描晶片,以納米精度精確測量表面高度和缺陷位置。檢查頭還使KLA F5 X能夠準確識別缺陷,如晶圓表面的凹坑和凹坑。資產利用先進的視覺和圖像分割技術來分析檢查過程中拍攝的圖像。這項技術有助於識別晶圓中的模式,並有助於檢測缺陷,如開路和短路,即使在微觀層面上也是如此。最後,TENCOR F5x利用專有軟件與計算機模型進行交互並分析結果,以建立綜合報告。總體而言,F 5 X是一款先進的、最先進的設備,可為基於晶圓的組件提供高精度的測試和計量功能。其先進的光學系統和檢測頭提供了納米精度的缺陷識別,而其先進的軟件則提供了完整的晶圓數據報告和分析。F5x為工程師和半導體制造商開發和測試高級元件提供了寶貴的資源。
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