二手 KLA / TENCOR F5x #9315380 待售

KLA / TENCOR F5x
ID: 9315380
Film thickness measurement system Dual load port handler, 12".
KLA/TENCOR F5x是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於半導體工業。它具有基於光束的光學顯微鏡,具有大視場(LFoV),提供廣泛的成像和檢查能力。該系統可用於快速測量缺陷和其他小規模特征,以及測試晶圓的電和/或熱特性。該單元利用了許多不同的光學元件,包括物鏡、分束器、取景器和光電二極管陣列。通過將這些元素與先進的軟件算法相結合,KLA F5x能夠進行高精度掃描,分辨率高達200納米。它還可以檢測顆粒、谷物和其他有機和無機特征,其大小可達幾納米。該機器非常適合評估一系列計量參數,包括臨界尺寸、叠加對準、缺陷檢查、粒子計數和共面測量。它包括具有可調速度、加速度和振動的機動化級,用於快速掃描。它的軟件界面對用戶友好,能夠快速輕松地進行全面的測量。TENCOR F 5 X融合了許多其他前沿功能,例如基於成像的自動對焦和景深控制。這些特點旨在提高缺陷檢測和其他分析的速度和準確性。它還集成了模式匹配技術,用於快速特征識別。除了提供卓越的成像能力和分析能力外,TENCOR F5x還提供卓越的可靠性。其強大的設計確保了它能夠承受嚴密的工業環境,其自動化的維護和校準過程最大程度地減少了停機時間,並最大限度地提高了性能。總體而言,F5x是任何需要先進晶圓測試和計量能力的半導體行業的絕佳選擇。其強大的設計和廣泛的功能使其成為市場上功能最強大、最可靠的系統之一。KLA/TENCOR F 5 X具有高精度、可靠的性能,非常適合您的測試和計量需求。
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