二手 KLA / TENCOR Flexus 2320 #293762507 待售

KLA/TENCOR Flexus 2320是一種用於半導體制造的精密晶圓測試和計量設備。它使用戶能夠以最小的人工幹預來快速、準確和經濟高效地評估晶片材料的質量。KLA Flexus 2320具有先進的視覺和檢測系統，包括兩個紅外攝像頭、兩個光度傳感器和四個激光頭。自適應模式識別（APR）算法可持續監控缺陷檢測的準確性,並實現晶圓缺陷檢測關鍵的高級分類功能。利用先進的光學和成像系統,TENCOR Flexus 2320能夠以最高的精度識別和測量直徑小至140 nm的缺陷。Flexus 2320還能夠產生廣泛的晶圓級測量和分析。其先進的光學系統可以精確測量晶圓表面的特征大小、間隙大小、形狀變化（擺動）和不規則的樓梯狀圖案（或臺階）。該單元還分析了覆蓋層和臨界尺寸均勻性、顆粒和汙染物以及層厚度。除了測量和分析之外,KLA/TENCOR Flexus 2320還提供高級自動化功能,可簡化晶圓測試和計量操作。該機器包括一個完全集成的軟件工具，具有點擊用戶界面和自動晶圓處理功能。這樣可以在操作人員幹預最少的情況下自動測量大批量晶片。KLA Flexus 2320是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量資產，使其成為半導體制造商的寶貴資產。它具有先進的光學設備、先進的成像和檢測系統,以及全面的測量和分析功能,是對半導體晶片進行可靠、自動化質量評估的理想選擇。