二手 KLA / TENCOR Flexus F2418 #9375031 待售

KLA/TENCOR Flexus F2418是一種晶圓測試和計量設備，用於IC器件表征、模具級缺陷檢測、晶圓級監控等多種應用。它能夠檢測和測量200毫米以下的矽片。KLA Flexus F2418旨在提高制造過程的效率和準確性。該系統針對跨多個目標的並行測試進行了優化,同時同時掃描多達四個模具。它使用光學和電子光束成像格式進行缺陷檢測，並提供極快的、無損的檢測吞吐量，用於測試大容量、低價值的晶片。該F2418采用模塊化設計,允許客戶進行定制和擴展,通過高容量的即時晶圓級測量獲得更大的吞吐量,並具有先進的檢測能力,能夠以高放大倍數檢測較小的異常。它還包括多個測量通道，可定制以滿足各種測量需求，以實現更快、更準確的測試。TENCOR Flexus F2418還有一個更高分辨率的光學單元用於缺陷檢測和分析。這包括從低（1X）到高（64X）的可變放大光學元件,可實現低到8微米的小模具的高分辨率成像。探頭定位器計算器可確保更高的測量精度,並為探頭位置針和板材相對於樣品提供更精確的對準,從而更可靠地進行測試。該F2418具有先進的分析能力，具有針對晶圓級測量、漸進測量周期、確定平坦度、確定厚膜以及其他標記和缺陷特性需求而優化的一系列測量程序。它還包括圖像處理和數據模式匹配算法，旨在準確快速地檢測微小缺陷異常。該機器還配備了一個名為計量工具箱的集成工具套件，它提供了一套廣泛的測量來自動化晶圓級計量。此工具旨在簡化評估多個設備產品線上晶片所需的步驟,從而縮短周期並更明智地做出決策。Flexus F2418是一種先進的晶圓測試和計量資產,旨在減少周期時間並提高高容量晶圓級測量的吞吐量。擁有優化的光學、高分辨率成像系統和先進的分析能力，是半導體行業集成電路器件制造和其他高價值制造的理想選擇。