二手 KLA / TENCOR Flexus #9007344 待售

KLA/TENCOR Flexus是下一代晶圓測試和計量設備，將高效的集成設計與最新的光學技術和先進的自動化工藝相結合，以達到最大的吞吐量和準確性。該系統旨在為半導體器件提供全面的晶圓級測試和分析。該單元先進的閉環、基於視覺的體系結構使其能夠同時測量和分析每小時多達24張測試晶片幻燈片。KLA Flexus的獨特之處在於,它利用精確的成像和計算功能,為從接觸到非接觸式再到背面的整個過程創建了一個單一的平臺。它集成了高速相機、激光計量工具、強大的圖像處理算法等多個強大元素，使其能夠精確測量每一層、發現缺陷，捕獲晶體管柵極寬度、觸點墊徑、摻雜水平、設備性能指標等關鍵設備參數。這種精度和可重復性水平意味著TENCOR Flexus可以提供小於1nm的基板獨立精度。該機采用階段集成閉環解決方案引擎（CLSE），作為智能、自學精密的機器人控制器。CLSE自動調整工具參數以優化資產性能和準確性。它還集成了預測分析，以預測上遊和下遊進程相關事件，使模型能夠根據不斷變化的條件自動和迅速調整其參數。這些功能有助於最小化設備設置時間並最大限度地提高吞吐量。Flexus還包括用於數據記錄、數據分析和現場報告的內置功能,從而能夠快速輕松生成復雜的性能和可靠性報告。此外，該系統可以有效地升級，允許用戶添加或調整計量工具，以適應設備設計或測試參數的變化。總而言之，KLA/TENCOR Flexus是一個功能強大且高度先進的晶圓測試和計量單元，為用戶提供了快速準確晶圓測試和計量的集成解決方案。KLA Flexus能夠同時測量和分析每小時多達24張測試晶片的幻燈片、預測分析能力以及可升級的硬件和軟件,因此,KLA Flexus非常適合作為任何晶片測試和計量設施的基石。