二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293597103 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一種靈活、自動化的晶圓測試和計量設備，設計用於對先進的3D半導體結構進行高通量檢查和分析。該工具可以檢測2.5納米以下的特征，並對復雜晶圓結構中的關鍵電和光學參數進行全面分析。KLA FLX-2320使用激光和光學的專有組合來精確辨別半導體層的特征。實時測量和分析激光感應光信號，提供非常精確的特征尺寸、薄膜厚度和其他特性的測量。然後使用掃描電子束系統創建晶圓結構的自動測量和分析（AMAT）圖。這使得電子、光學和其他參數的晶圓測量具有很高的精確度。該單元還提供各種過程控制工具。共有32個獨立的並行計量通道可用於控制多個過程步驟。此外,機器還可以與標準和專業軟件包集成,包括過程控制和測試程序,從而可以無縫集成到其他生產和測試系統中。TENCOR FLX 2320旨在提供高精度的測試數據，減少測量時間，減少浪費，提高工藝產量。該工具具有易於使用的腳本功能和與各種分析程序的兼容性,從而實現了可靠、可重復的測量。而且，該工具對用戶友好，具有圖形化的用戶界面，可以支持經驗有限的人員快速、輕松的編程。總體而言,FLX 2320為先進的半導體制造提供了一個可靠、精確的晶圓測試和計量解決方案。它具有高通量能力和強大的過程控制工具,是各種半導體開發和制造應用的理想選擇。