二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293606030 待售

KLA / TENCOR FLX-2320
ID: 293606030
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320是一種先進的晶片測試和計量設備,其設計目的是為精確分析納米電子晶片提供無與倫比的精度和分辨率。KLA FLX-2320使用5軸掃描頭與被測晶片交互,從而能夠精確測量和分析晶片表面上的精確器件元件。TENCOR FLX 2320提供了一套集成的先進成像技術,以提供晶圓缺陷的詳細可視化。系統的光學單元使用4倍放大倍率,具有3英寸直徑的視場,允許對整個晶圓表面進行精確分析。FLX-2320提供明場和暗場成像,並具有信號優化的光部署功能,可通過一次掃描實現多種圖像類型。FLX 2320還包含用於復雜器件測量的可變角度信號衍射(VSD),從而能夠精確評估納米電子結構和器件。這臺機器配置了專用的高壓電容耦合光學計量級(HCOMS),以收集具有優越信噪比的全方位數據點。KLA FLX 2320有一個集成晶圓處理工具和一個綜合晶圓負載/卸載定序器。集成BLSS-5收益管理資產采用自學算法分離可接受和拒絕的設備,確保了較高的收益率。使用KLA/TENCOR FLX 2320進行的所有測量都存儲在一個安全且可訪問的數據庫中,從而允許自動和實時數據訪問。TENCOR FLX-2320還采用了一套先進的原位缺陷檢查、繪圖和表征技術。這些工具允許對微小缺陷進行集成分析和可視化,從而實現更準確的晶圓缺陷檢測和增強質量保證。KLA/TENCOR FLX-2320還利用了一整套先進的原位缺陷表征工具。支持自動缺陷跟蹤、設備位置和設備分析,可提供高級缺陷分析功能,從而能夠精確識別缺陷原因。KLA FLX-2320的高精度光學和掃描功能使晶圓測試和計量達到前所未有的水平。該模型大大提高了晶片測試過程的效率和準確性,同時顯著降低了生產成本。TENCOR FLX 2320是市場上最先進的晶圓測試和計量系統之一,提供業界最高水平的性能、精度和分辨率。
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