二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293765088 待售
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ID: 293765088
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 1999
Thin film stress measurement system, 4"-6"
Laser movement non-functional
Solid state laser: 3650 + 750 nm
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Operating system: Windows 3.1
1999 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320設備是一種堅固、高速的晶片測試和計量系統,專門設計用於優化28nm和更小晶片尺寸關鍵特征的檢測和測量。利用先進技術，KLA FLX-2320被定位為高精度晶片檢測和表征的市場領導者。配備了最新的KLA突破性技術，TENCOR FLX 2320提供了前所未有的內聯速度和精度。其共聚焦顯微鏡和多級成像體系結構利用雙側成像能力和優化的非接觸式探測單元，提供前所未有的實時樣品檢測。FLX 2320采用雙處理實時圖像檢測技術,能夠以高精度和高速度測量最具挑戰性的特性和缺陷大小。利用高密度探測器陣列，為亞微米器件提供1.5nm分辨率的詳細測量。此外，它的定制模式識別機器可以檢測到最復雜的模式，並將它們與誤報區分開來。為了獲得最佳精度,KLA/TENCOR FLX 2320工具使用可配置的計量模型進行編程。這包括分析流程變量和檢查交叉模具的功能,以及在單層級別檢查特定層流程變量的功能。此外,它的在線自動對焦功能允許進行高吞吐量測量,從而提高過程的穩定性和準確性。KLA FLX 2320還提供自動晶圓缺陷檢測功能。基於可配置模式識別、特征選擇和增強算法的組合，資產能夠以高度可預測性和準確性檢測和報告缺陷的存在。最後,TENCOR FLX-2320模型為晶圓測試和計量提供了一個完整、自動化的解決方案.其先進的功能、實時檢測和缺陷檢測、卓越的分辨率和可靠的操作使其成為大批量生產線的理想選擇。
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