二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #293792562 待售

KLA/TENCOR FLX-2320晶片測試和計量設備是一種全自動、高通量的過程控制系統，旨在準確、快速地測量晶片的電氣和物理特性。它具有電氣模具測試、中段檢測（MSI）、材料檢測、光電表征、激光反射法、薄膜計量、機器視覺、2D/3D復雜表面測量等多種集成技術。KLA FLX-2320擁有高吞吐量數據采集單元,每小時最多可測量20個晶圓。此系統設計包括專門的晶片處理和對準功能,這些功能由真空夾具保護,以確保晶片對準。然後將晶片加載到測試站,在那裏進行電模測試和MSI測量。電模試驗測量電導、電阻、介電常數等電參數。這些測量可以準確識別晶片中有故障的電氣元件。MSI測試使用激光二極管照明和成像技術來檢查和檢測光學和電氣特性之間的微小過程變化。材料檢驗可以快速分析和全面測量晶圓的平面度和邊緣光潔度。光電表征機允許工具以低於50微米的分辨率捕獲晶片圖樣的圖像。激光反射法能夠測量薄膜沈積的晶圓厚度、表面粗糙度和橢圓形薄片。後處理薄膜計量精確測量包括反射率、透射、相位和方位角光譜在內的臨界薄膜特性。然後利用集成的機器視覺資產對晶片圖像進行分析，以檢測、表征和量化任何材料缺陷。最後但並非最不重要的是，TENCOR FLX 2320還配備了二維和三維復雜表面測量模型，以精確和精確的方式測量地形表面信息。總體而言，KLA/TENCOR FLX 2320晶圓測試和計量設備是晶圓分析和故障分析的先進可靠工具。它提供了高度的精確度和準確性，具有業界專業人士所期望的速度和效率。該系統具有多種集成技術和特點，可靠且高度可配置，非常適合現代半導體行業。