二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9269304 待售

KLA / TENCOR FLX-2320
ID: 9269304
Film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320是一種平面陣列檢查和計量設備,設計用於提供集成電路晶片的高精度測量。該系統具有靈活的計量平臺,能夠執行大量晶圓測試和測量,以確保每個晶圓正常工作。憑借其高端光學技術,KLA FLX-2320還能夠檢測晶圓表面的小特征和缺陷。該單元具有功能強大的軟件套件,旨在提供完整的計量功能。該套件利用運動控制技術,它允許控制操作,如Z高度測量,掃描,聚焦和漂移控制。軟件套件還利用其他一些先進技術,如邊緣增強、光學輪廓測量和圖像分析,以確保測量的準確性。此外,該機還可以與其他機器集成進行非接觸面測量。它包括一個掃描頭選項,它支持直徑從4英寸到12英寸的各種晶圓尺寸。這樣可確保該工具可用於需要各種不同測試和測量的應用程序。當與其強大的軟件結合使用時,TENCOR FLX 2320為用戶提供了快速捕獲高分辨率計量數據的能力。此資產非常適合缺陷檢查、過程控制、線路監控、臨界尺寸、覆蓋層和薄膜厚度等應用。它具有高精度的測量能力和靈活的設置,是晶圓測試和計量的理想模型。
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