二手 KLA / TENCOR FLX-2320 #9293253 待售

KLA/TENCOR FLX-2320是一種晶圓測試和計量設備,專為在線、高通量操作而設計。這個最先進的系統結合了先進的精密算法和光學技術，提供了最高水平的準確性和可靠性。KLA FLX-2320將快速全晶片掃描與高級缺陷檢測算法相結合，並提供實時自動缺陷分類。這使用戶能夠解決廣泛的過程、材料和生產管理問題。TENCOR FLX 2320的高級光學單元提供全晶圓計量和測量功能，涵蓋了整個已建立的測試參數陣列，如線寬、線緣粗糙度和臨界尺寸。這臺機器結合了多個光學通道來分析2D和3D地形，並提供局部區域和特征邊緣的精確成像。TENCOR FLX-2320還提供了在線、全晶圓掃描操作過程中的自動化精度和可重復性。它配備了對準系統，以確保與被測量的特征精確對準，以及同一晶圓上傳感器之間的精確對準。這樣可以確保在同一晶片上進行的所有測量都達到相同的精度水平。FLX 2320先進的光學工具使數據的快速傳輸和處理成為可能,使其適合大批量制造。FLX-2320的高通量能力使其成為晶圓測試和計量的理想選擇，並產生了生產領域缺陷趨勢的信息。該資產專為高可靠性的潔凈室操作而設計,並得到KLA的全面維護計劃的支持。KLA FLX 2320極易使用，是當今晶圓測試和計量所必需的。對於需要可靠、準確的在線高吞吐量運營模型的客戶來說,它是一個理想的解決方案。