二手 KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089 待售

KLA/TENCOR FLX-2320A是一種高性能晶圓測試和計量設備，為半導體器件表征和過程控制提供可靠準確的結果。該系統采用先進的光學設計,利用自動化的線性電動機驅動平臺,在整個晶圓尺寸範圍內準確、一致地測量設備特性。該設備旨在提供快速、準確的缺陷確定、成像和缺陷分析功能,同時確保高吞吐量。KLA FLX 2320 A配備了多項專有技術，在晶圓測試和計量方面提供卓越的分辨率和準確性。該機采用I-DAD接口，代表「集成缺陷分析和檢測」，提供了詳細的缺陷分析和設備表征。I-DAD工具采用雙激光掃描和垂直照明結合多個相機圖像，生成晶圓表面的3D圖像，快速準確的缺陷大小和識別。該資產還能夠用時域反射法測量晶圓上每個器件的電氣特性。這增加了模型的計量能力,並提供了有關晶圓上每個設備的電氣性能的寶貴見解。TDR通道的加入為用戶提供了更深入了解晶圓上每個設備的電氣特性的能力。此外，TENCOR FLX-2320-A還配備了先進的圖像處理設備，對缺陷進行分類和分類。此功能有助於減少手動檢查和分類缺陷所花費的時間,從而提高準確性和吞吐量。系統由Windows 7供電，包含10位灰度CCD，256個灰度分辨率，最高1617 nm/px。晶片級能夠容納高達650毫米的晶片。它還包括一個易於使用的圖形用戶界面和一個用於自動晶圓處理的內置晶圓外賣機器人。總之,KLA FLX-2320A是一個功能強大且可靠的晶片測試和計量學單元,提供全面的I-DAD接口、TDR通道、圖像處理功能和自動晶片處理機等高級功能。該工具旨在提供高性能晶圓測試、計量和缺陷分析功能,以確保準確的結果和高吞吐量。