二手 KLA / TENCOR FLX-2320A #293832321 待售
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KLA/TENCOR FLX-2320A是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對雙面多層結構上的薄膜厚度和器件特性進行精確、快速的測量。利用低能單色x‐ray源和電荷耦合器件（CCD）實現納米尺度尺寸精度。開發了KLA FLX 2320晶圓測試系統，以滿足半導體和納米技術行業的嚴格要求。TENCOR FLX-2320-A單元能夠測量和分析各種金屬、絕緣體和有機材料。晶片安裝在舞臺上，並手動或通過機器人機器放置在x‐ray源下方。x‐ray源產生一個寬廣、均勻的能量分布，由x‐ray光學器件聚焦，對準並控制，以產生適合所需測量的光束寬度和能級。該工具還能夠測量各種材料和裝置特性的納米級層，包括光電導層。KLA FLX-2320-A晶圓測試資產還包括若幹自動化的數據收集和分析過程。采用高分辨率CCD檢測器獲取x‐ray圖像，利用計算機算法對圖像進行分析，確定材料或設備的厚度和特性。TENCOR FLX-2320A模型也可以與多種初級計量工具集成，包括光學顯微鏡和原子力顯微鏡。FLX 2320晶圓測試設備旨在提供可靠、可重復和高度精確的質量控制解決方案。它具有卓越的速度和精度,能夠在單個設置中檢查各種設備。憑借增強的功能集,KLA/TENCOR FLX-2320-A在廣泛的生產應用程序中提供了更好的性能。此外,該系統完全符合所有質量標準,包括SEMI和FTQA。
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