二手 KLA / TENCOR FLX-2320S #293773608 待售

KLA / TENCOR FLX-2320S
ID: 293773608
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320S晶片測試和計量設備是一種非常先進的產品,能夠在半導體制造過程中檢測和測量晶片參數和厚度。它是一系列精密系統中的最新產品,旨在確保更精簡的制造過程中更快的吞吐量和更高的產量。KLA FLX 2320 S具有雙軸掃描儀,提供高速非接觸晶片定位和全自動測量,並具有360度掃描功能,可提高準確性和可重復性。它還具有一個數字變焦功能,將測量精度放大到5納米分辨率,僅一納米的測量精度得到提高。該系統包括一種新的基於數字圖像的測量能力。光學顯微鏡、高分辨率區域掃描CCD相機和專用軟件用於從各種表面捕獲更多信息。這種能力提高產量,同時提高晶圓精度和線性。TENCOR FLX-2320-S使用高級統計過程控制(SPC)和分析,並對晶圓厚度、平整度和輪廓數據進行了一系列測試。它存儲可根據設備需求定制的可配置數據,還支持使用可選的實時SPC功能處理數據。這使得操作員可以方便地分析過程結果,並根據需要快速調整過程參數。KLA FLX-2320S還包括一系列軟件選項。專有的「UniFlex」軟件允許用戶為測試和計量任務快速編程、審閱或編輯晶圓模式。隨附的軟件向導簡化了設置和執行晶圓測試的過程,而診斷工具提供了快速故障排除和詳細報告。總之,FLX-2320S晶圓測試和計量單元是一個先進的,用戶友好的產品提供卓越的性能,一致性和價值的半導體制造過程。這臺機器提供了提高的速度、準確性、可重復性和便利性,這是人工方法無法輕易匹配的。它是芯片制造商和其他需要晶圓度量精度的制造商的重要工具。
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