二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #293587953 待售

KLA/TENCOR FLX-2908晶圓測試和計量設備是一種集成的計量解決方案,旨在提供高速、高質量的晶圓檢測和計量。它旨在確保先進的半導體制造操作中晶圓的最佳吞吐量。KLA FLX-2908平臺將非常高精度的自動化校準系統的精度與高速、高生產率的測量能力相結合。它利用各種光學、成像和化學傳感器進行檢查、測量和分析。它還提供了一個集成的內存功能，允許快速和可靠的結果分析。TENCOR FLX 2908利用一個特殊的成像單元，使它能夠捕獲晶圓表面和背面細節。它具有高橫向分辨率和高達10 MHz的圖像傳輸速率，允許在不到10秒的時間內實現8K x 8K的最大掃描速率。使用此機器,用戶可以測量和/或檢查側壁結構,檢查缺陷夾雜物,檢查CD和叠加要求,並檢查OPC重叠。該工具還配備了一個獨特的溫度控制晶圓級，以確保一個極其均勻，精確控制的環境。這有助於確保在各種環境溫度下可重復和可靠的性能。KLA/TENCOR FLX 2908還利用先進的對準資產精確定位晶片和模型組件。這是一個關鍵的組成部分，因為測量的精度在很大程度上依賴於對齊的準確性和可重復性。最後,設備附帶了一套用於監視、分析和報告的軟件應用程序。這包括一個復雜的分析套件,它可以檢測到小至3nm的缺陷,並包括一個復雜的分析庫,允許用戶自定義檢查序列和設置以滿足其特定需求。總之,TENCOR FLX-2908晶圓測試和計量系統是一個非常可靠和通用的工具,旨在滿足要求最苛刻的半導體制造商的嚴格要求。FLX 2908具有精確、可重復的對準、高速成像單元、溫控級和強大的分析軟件,是確保晶圓加工和計量質量和性能的首選解決方案。