二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9016283 待售

KLA/TENCOR FLX-2908晶片測試和計量設備是一個集成的高精度平臺，旨在幫助工程師和科學家以快速準確的結果表征晶片的物理特性。該系統功能強大的專有光學和計算機軟件使其能夠在1微米範圍內測量多個參數,如正面和背面地形、表面形態、晶圓經度、電阻率、反射率或薄膜厚度。它結合了計量、缺陷檢測和晶圓取向對齊，為廣泛的應用提供了高度可靠的結果和快速的周轉時間。KLA FLX-2908利用光源檢查和成像裝置檢測晶片表面的缺陷。這臺機器采用光束轉向，使晶圓上的每個目標點被三個或更多不同的照明角度融合，形成該區域的獨特圖像。然後，它的專有成像技術將原始陣列處理成有意義的物理數據，以量化各種表面特征，從詳細的地形圖到缺陷區域的總線計數（TLC）圖，再到TLC識別區域的電阻率圖。該工具還能夠在基板的正面或背面進行晶圓翹曲和厚度測量。其波前分析技術能夠確定基板曲率的精確程度，這對於先進半導體元件的生產具有重要意義。TENCOR FLX 2908還將計量和缺陷檢測整合到單個資產中，使用戶能夠同時測量同一晶圓的多個屬性，提供對基板物理特性的全面表征。它的全天候監控功能可以在潛在問題發生之前進行檢測,並有助於增加正常運行時間和減少設備停機時間。FLX-2908非常適合需要對晶圓物理特性進行可靠和快速表征的工程師和科學家。其先進的光學和圖像處理功能為用戶提供了廣泛應用的高度準確的結果,而其計量和缺陷檢測的集成則允許對單個晶圓進行全面的物理特性表征。