二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9199147 待售
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ID: 9199147
Thin film stress measurement system, 3"-8"
Handler type: Wafer
Dual wavelength scanning
Room temperature: 900°C
Scan length: Up to 200 mm
PC With configuration:
Pentium processor: 133 MHz
RAM: 16 MB
Hard drive: 2.0 GB
SVGA Monitor
Hardware: Signal light tower
(2) User manuals
Accessories:
150 mm Certified wafer pair
200 mm Certified wafer pair
SECS/GEM Interface user manual
Power source: 208-240V, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2908晶圓測試和計量設備為計量和過程控制提供了完整的端到端解決方案。KLA FLX-2908將高級遠程中心計量學功能與一套功能強大的過程控制軟件集成在一起。系統可以針對客戶的各種流程要求進行配置,如CD、形態、地形、反射率和陣列測量。TENCOR FLX 2908具有獨特的精確度和速度交融,可以滿足要求最苛刻的產量要求。采用高端PC平臺供電的晶圓級測試系統,擁有集成的16通道光頭和高功率白光成像源..它包括可變數量的視覺子系統和一個或多個高精度的遠程中心計量系統,包括視覺通道選擇器,用於視覺系統之間的快速切換。此外,還有一個綜合校準工具用於表面檢查,以提供最大單位精度。KLA FLX 2908具有接地良好的PC機器,允許用戶遠程控制和監視工具,包括資產維護。還包括全自動晶片測試處理程序、光頭、視覺子模型、計量軟件套件、測試自動化軟件和診斷診斷套件。TENCOR FLX-2908能夠容納多達16個直徑從8到200毫米的晶圓。設備配備了先進的計量能力,用於圖形、成像和材料表征。它可以提供地形和缺陷映射等圖像質量測量,以確保最高產量,同時提供最準確的結果。KLA/TENCOR FLX 2908還提供了旨在提高系統速度和最小化測試時間的功能。高端掃描加速器利用創新掃描算法的多通道架構;顯著提高吞吐量而不犧牲精度。這允許精確測量各種物理特性,從粒子缺陷到表面變形特性不等。此外,高精度靜電傳感器為所有測試晶片提供精確的測量。先進的計量能力、單位速度和高達1納米的精度都結合在一起,使機器具有很高的可靠性和效率。此外,它的高級功能(包括直觀的GUI軟件和單擊操作)允許輕松、輕松的操作。FLX-2908是尋找完整晶圓測試和計量工具的客戶的絕佳選擇。
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