二手 KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708 待售

KLA/TENCOR FLX-2908是專門為高級晶圓級缺陷檢測而設計的晶圓測試和計量設備。它在單個系統中提供高速和高分辨率的組合,使前期成本和經常性費用保持較低水平。該單元能夠檢查給定晶片上的許多模具,從而能夠同時測量臨界尺寸（CD）和電測量參數（E&S參數）。此外,這臺機器還集成了多種產品的板載測量工具,這意味著它可以在晶圓上自動測量多種特征類型（包括攻擊性特征和參數密集型特征）。KLA FLX-2908以高達5 µm的CD/XP分辨率檢查和測量所需的參數。它實現了復雜的成像、圖案匹配和3D高度輪廓測量算法，在不犧牲測量速度的情況下檢測細微的缺陷。此資產包含多種板載計量技術，如光學CD/XP測量、2D拓撲特征測量和其他計量技術。它還包括一個以缺陷和汙染檢測為重點的集成高倍率檢測模型。該設備還可以容納未來的檢測平臺，如光學缺陷檢測。TENCOR FLX 2908具有卓越的CD/XP測量、無與倫比的精度和高可靠性。其混合計量系統具有廣泛的測量範圍、靈活的檢測能力、高吞吐量等特點。此外，它還提供了一個自動化的校準過程，使得能夠頻繁和精確的計量測量。此單元還包括增強的SPC功能、改進的模內測量可重復性以及自動數據保存/恢復機器。此工具的外形尺寸較小,集成了機器人技術,甚至可用於小型清潔室。它的設計實現了任務自動化,使用機器人運輸來回移動晶片和元件,以實現快速、輕松的檢測/計量。最後,TENCOR FLX-2908采用了先進的統計過程控制（SPC）軟件,該軟件有助於數據收集、分析和報告,以確保質量一致。