二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #293623331 待售

KLA/TENCOR FLX-5400代表下一代晶圓測試和計量系統。這種多功能、高性能的設備非常適合生產和研發應用。它能夠同時測試各種晶圓結構，從200毫米到450毫米。它擁有行業最高水平的產能之一，有能力支持最新的計量方法，如自動處置反饋回路和集成缺陷審核機制。KLA FLX-5400具有多項創新設計功能。該系統利用一個獨立的機器人機械手，它可以移動到9個自由度，以實現3-D對準和晶圓處理。照明單元實現多個LED源以最小化可變性，而專有的優化算法則在整個視野中保持成像均勻。這有助於確保準確的測量結果。該機還利用KLA先進的多光譜頻閃成像技術。這種技術使用寬帶激發和三個經過校準的相機來捕捉每個晶片層的光譜和角度信息。強大的處理器隨後將這種多頻譜數據組合到一個測量通道中。這樣可以快速、準確地測量晶圓特征,如表面地形、活動區域、鄰近和邊緣。對於缺陷表征,TENCOR FLX 5400包括許多高級工具和算法。該工具利用Auto-Ready技術，該技術允許用戶快速設置各種檢測、分類和分析算法。這包括過程監測、疾病分析、應力和應變分析以及光學顯微鏡等特征。KLA/TENCOR FLX 5400包含一個強大的軟件包,它提供了分析和報告每項測量結果所需的所有工具。這包括用於數據過濾、統計、報告、趨勢分析和相關性的工具。此外,該資產還集成了SmartDefects Plus,這使得檢測和隔離缺陷以及應用糾正措施變得容易。此外,KLA FLX 5400具有廣泛的應用程序靈活性。用戶可以配置模型來處理任何類型的晶圓結構,甚至可以容納可能需要額外設置的結構復雜的基板。此外，它能夠以單片和盒式到盒式兩種配置運行，因此非常適合各種生產過程。總體而言，TENCOR FLX-5400是一種高度先進的設備，能夠進行高精度的計量和缺陷分析。該系統非常適合各種生產級晶圓測試和計量應用,為當前和下一代晶圓測試需求提供了許多好處。