二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #293648854 待售
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KLA/TENCOR FLX-5400是一種先進的晶圓測試和計量設備，在納米級提供精確度和高通量性能。它有效地識別浮動基板中的顆粒和缺陷，包括光掩模和平板顯示器。該系統的設計目的是在較小的測量周期內進行測試，並且能夠50X比常規單元更快地識別缺陷。KLA FLX-5400使用先進的高分辨率成像技術來測量基板上的顆粒和易缺陷區域。它結合了自動粒子檢測算法來識別和自動對焦這些區域，以確定它們的大小、形狀和位置。此外,該機器還具有強大的分析功能,可跟蹤和報告單個晶圓的測量結果。該工具采用光學和聲學技術相結合，精確識別晶圓上的粒子。它結合了一個傳感器陣列和先進的算法來檢測微粒到0.1微米的大小。資產還使用光學計量技術，如自上而下的掃描，準確識別粒子。該模型可以測量各種材料中的粒子，如矽、玻璃和金屬。其設計符合高容量晶圓制造工藝的嚴格要求。該設備配備了一個精確的自動對焦功能，適應基板地形變化。此功能有助於減少微粒測量時間並提高吞吐量。該系統專為1類潔凈室環境中的全天候操作而設計。TENCOR FLX 5400是一種經濟高效的解決方案,可輕松集成到生產設施中,滿足晶圓測試和計量需求。它能夠每小時測試數百種基材。此外,該設備還支持一整套軟件、硬件和服務,旨在優化性能和產量。該機器可通過提供自定義選項的選項和附件進行升級。
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