二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9031780 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一種先進的晶片測試和計量設備,旨在以卓越的精度和可重復性執行最復雜的晶片測試和計量任務。該系統非常適合包括5 nm應用程序在內的高級節點。KLA FLX-5400結合了光學和數字成像、物理測量以及高級過程分析功能,以提供高度準確和可靠的計量和晶圓測試結果。此單元與Emerge™ 5000 Advanced Metrology Platform集成在一起,這是一臺靈活開放的機器,允許用戶根據應用程序要求選擇最佳的計量解決方案組合。該平臺包括一套高性能的過程分析工具,如快速缺陷審查、跟蹤分析和表征,所有這些工具都具有超低的檢測閾值和前所未有的空間分辨率。該工具的自動化和機器人技術實現了高容量、重復性計量和晶圓測試任務的經濟高效自動化,從而實現了高度可重復和可靠的結果。該資產采用高精度動態聚焦控制，可實現連續快速的自適應聚焦和圖像采集。它還包括精選的自適應光學和數字成像技術以及集成的AFM/SPM功能,用於多功能缺陷成像和分析。對於物理測量,該模型與世界領先的計量工具集成在一起,這些工具包括渦流臨界尺寸、焦點/散焦、蝕刻深度和層/膜厚度計量功能。TENCOR FLX 5400提供了一個功能強大的過程故障檢測和分析工具箱,其中包括晶圓和/或模具的SEM圖像以實現快速的細粒故障診斷,實時數據分析以將過程和產品指標與測試結果相關聯,以及自動故障檢測和分類的統計過程控制。最後，設備配備了各種先進的報告和數據輸出選項，以便能夠準確和自信地與上遊和下遊集成夥伴共享數據和測試結果。用戶可以輕松配置一系列報告選項,包括基於角色的訪問控制,以實現對數據的安全和精細訪問。這種最先進的晶圓測試和計量系統是高級節點等的終極診斷工具。