二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9271456 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是專門為半導體工業設計的高精度晶圓測試和計量設備。它可用於測試晶片基板的各種參數，如模具厚度、模具鍵合墊尺寸和模具平整度，以及檢測和測量塊狀和薄膜結構的缺陷。KLA FLX-5400利用可變運動運動學，快速高效地準確捕獲晶圓數據。這項技術還允許精確測量現代膳食的關鍵特征，如芯片和基板設計特征以及粘合墊尺寸。TENCOR FLX 5400是一種高度可靠的晶圓測試和計量系統。其先進的算法、納米編碼器和運動控制能力使其能夠準確分析和測量晶圓的完整性。它可以檢測和測量最關鍵結構上最小的特征尺寸和缺陷，如晶體管和存儲單元。該單元包括一個自動化的數據處理機器，以快速存儲、分析和報告測量的晶圓數據。該工具具有4.5 μ m的分辨率，可以研究晶圓上小特征的完整性。其集成成像資產可以捕獲整個晶圓區域的高分辨率圖像，允許研究各種材料結構和缺陷。該成像模型采用高分辨率數字成像頭，配有專門的激光照明和自動聚焦光學器件。該設備還包括用於數據分析和報告的功能強大的軟件工具。這些工具可以自動生成條形圖和直方圖,以快速可視化晶圓數據並檢測異常點。軟件還可以比較多個晶圓圖像和測量缺陷密度。FLX 5400在行業標準機器中提供了最高級別的晶圓測試和計量功能。其卓越的性能和可靠的操作使其成為半導體制造的理想解決方案。