二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9299886 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一種先進的晶圓測試和計量設備,使用戶能夠獲得前所未有的精確度和生產率,用於對半導體材料進行修補、測量和檢查。它具有超高分辨率、快速XY掃描系統、自動晶片處理、多用途Z級、高精度光學元件以及先進的軟件算法,可實現精確可靠的圖樣和計量。KLA FLX-5400能夠測試和測量廣泛的材料，包括SOI、應變矽、多晶矽、氮化矽和其他的薄膜。為高對比度操作提供抗反射塗層和清晰成像。此外，它的快速XY掃描單元允許快速橫向和橫向運動，使吞吐量達到每小時6個晶圓。堅固的Z級由低噪聲、高精度的直線電動機級驅動,在寬溫度範圍內可靠穩定。這樣可以在整個高度範圍內確保一致的可重復性。Z級還提供低致動力,最小步長小於1 nm。TENCOR FLX 5400具有雙軸對準、衍射光學、高級鏡頭和模塊化設計的超高分辨率光學成像機。該工具提供卓越的圖像分辨率,測量分辨率小於0.1 µm。它還包括一個自動化采樣資產,用於快速、方便的采樣處理。KLA FLX 5400結合了多種軟件工具，以優化用戶體驗並確保準確性。它包括用於臨界尺寸測量自動化和自動生成報告的過程控制軟件。它還具有一臺用於自動圖像捕獲和控制的車載計算機以及一個後處理圖像分析和檢查軟件包。FLX 5400是一種先進的晶圓測試和計量模型，適用於半導體行業的應用。它提供卓越的圖像分辨率、快速的XY掃描以及低噪聲、高精度的Z級,可實現可靠的重復性和準確性。此外,它的高級軟件工具能夠實現流程自動化和優化用戶體驗。這使得它成為高精度計量檢驗的完美解決方案。