二手 KLA / TENCOR FLX-5500 #138548 待售
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已售出
ID: 138548
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Stress measurement system, 8"
Sample Handling: 6" & 8"
CE Marked
Standard Specifications:
Throughput: >54 WPH (8")
Measurement:
Speed: 5s (6")
Range: 1x107 to 4x1010 dynes/cm2
Repeatability: (1σ) < 1x107 dynes/cm2 for 10 measurements
Accuracy: <2.5% or 1MPa (whichever is larger)
Resolution: kmin (1/m) = 0.000100, Kmax (1/m) = 0.400000
Minimum Radious: 3.0m (for 80mm scan length)
Minimum Scan Step: 0.02mm
Maximum Points per scan: 1250
Scan Direction: 15°, 30°, 45°, & 90°
Scan Range: User programmable up to 8"
Detectable Stress: All reflecting films over 1000 Å thick
Process Type: Single Wafer
(1x) Integrated SMIF (Asyst)
Handler Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI)
Dual Wavelength Scanning
GEM/SECS Interface
Computer: Pentium 133MHz
16MB Ram
2GB Hdd
SVGA Monitor
OS SW: msWindows 3.11 /DOS 6.22
Application SW: Version 4.3
Power Requirements: V 208-240, Freq 50/60Hz
2003 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5500是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提供高通量的集成分析解決方案,以檢查和監控各種晶圓特性。KLA FLX-5500能夠同時進行前端晶圓測試和後端晶圓計量操作，使其成為光子學、MEMS、先進移動半導體等多種應用的通用平臺。TENCOR FLX 5500有兩個主要組成部分：一個用戶界面/PDU（可編程數字單元）,以方便和直觀的用戶交互,另一個晶圓計量系統（WMS）具有集成的光學和射頻元件,用於執行光學檢查、缺陷分析、計量掃描、電氣測量和其他專門測試等操作。UI/PDU為用戶操作設備提供了一種簡單直觀的方式。它包括快速訪問控制功能,如配方選擇、機器設置、掃描控制、參數設置和數據查看。用戶界面還能夠對實時性能數據進行建模，從多個角度顯示數據，以支持更快的決策。WMS擁有用於檢查和測量晶圓特性的高性能光學和射頻計量工具。該工具集成了幾個組件，包括用於識別和測量裂紋和雜質等發光粒子的全光譜成像光譜儀、用於檢查特征清晰度的自動聚焦成像資產、用於監測晶圓表面的自動物理映射模型以及用於精確測量表面平面度的集成金剛石車削設備。此外,KLA FLX 5500還包括功能強大的軟件套件,具有自動化測試、缺陷水合和過程控制優化、全硬件監控以及強大的數據安全性等高級功能。軟件的設計是為了最大限度地提高系統的自動化測試能力，確保每個晶片都經過質量控制和過程優化的一致測試。FLX 5500是一個小巧、功能強大的晶圓測試和計量單元,它提供測試和監控任何類型晶圓的質量和性能所需的一切。憑借其直觀的用戶界面、強大的自動化測試功能以及集成的光學和RF組件,FLX-5500實現了準確、可靠和經濟高效的結果。
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