二手 KLA / TENCOR FOUP Handler for SP1 / F5X / Spectra FX #9240599 待售

用於SP1/ F5X/Spectra FX的KLA/TENCOR FOUP處理程序是一種現代晶圓測試和計量設備。該系統在高級級別上有效地對晶圓、基材和其他材料進行在線測試和計量。KLA FOUP Handler設計用於快速可靠地分析感光材料和其他晶片如矽、液晶顯示器（LCD）、薄膜晶體管（TFT）顯示器和非易失性內存（NVM）。它是一套完整的自動化軟件和硬件,具有精確的階段、運動、視覺和成像功能,可滿足半導體制造商的需求。用於SP1/ F5X/Spectra FX單元的KLA FOUP處理程序利用先進的專有光學技術,在沒有物理接觸的情況下精確分析晶片,從而最大程度地減少對敏感介質的損壞。其嵌入式光學傳感器檢測和跟蹤尺寸和厚度各異的晶片，同時使用熱應變有源光學器件進行精確的角度測量。這樣可以以更高的幀速率進行精確的測量,從而帶來前所未有的計量性能。TENCOR FOUP Handler還提供全面的檢查解決方案,符合行業標準E10/11或等效的EN/IEC 61215。晶片內置的4M像素、4K分辨率成像，可以快速可靠地檢測缺陷，包括邊緣缺陷、橋接缺陷、圓形缺陷、浮渣圓、劃痕、顛簸、空隙和其他汙染物。成像機進一步集成了內置的模式識別和護帶自動檢測功能，以評估灰色缺陷、顏色缺陷和皺紋缺陷的存在。KLA/TENCOR FOUP Handler的嵌入式信號處理功能進一步洞察材料屬性。FOUP處理程序包括用於臨界薄/厚膜測量、顏色、紋理、雙折射、表面覆蓋、焦點深度、平面度、紋理、位錯、圖樣分辨率、晶圓平面度、材料特性、圖像對比度、模具尺寸精度和方向的標準算法和計量操作。此外,KLA智能監控和缺陷控制工具可實現跨晶圓的自動計量,而實時數據輸出允許用戶評估產品性能和過程參數。TENCOR FOUP Handler for SP1/ F5X/Spectra FX是一種高效、可靠、堅固的工具,設計用於晶圓和其他敏感基板的精密價位和計量。它允許快速檢查和監視結果,允許用戶執行快速決策和產品分析。因此，TENCOR FOUP Handler是任何專門從事晶圓測試和計量的商業或研究設施的重要組成部分。