二手 KLA / TENCOR FT-500 #9214047 待售

KLA/TENCOR FT-500是一個先進的晶圓檢測和計量系統,提供高級功能,包括內聯缺陷審查、高通量和高分辨率成像。具體來說，KLA FT-500總共提供500個晶圓對齊器，允許每個站每小時最多8個晶圓，容納12"、8"和6"晶圓。通過集成光學和LED，可以產生高達1.6um的圖像分辨率，最大視野為500 mm。TENCOR FT-500配備了Automated Defect Review （ADR）系統,可實現內聯自動缺陷審查,並提供CD、線緣粗糙度和任何其他局部或全局參數等推斷參數的直觀表示。此外，它還支持CD測量的各種光學技術，並實現晶片對晶片M1（層或測量）的同時匹配。在照明方面,FT-500采用高級照明選項,如高分辨率亮場、暗場、背光和上光照明,以及一系列LED和濾鏡選項來捕獲任何可變晶片圖樣。此外，它的自動光束剖面儀和掃描參數調整使設備能夠控制光束狀況並獲得均勻的掃描。在圖像分析和增強方面,KLA/TENCOR FT-500具有自動化特征搜索、圖像銳化、圖像分割和自動特征分類等高級功能。此外，還包括測量圖形等圖像測量工具和提高圖像識別精度的工具。在吞吐量方面，KLA FT-500在批處理模式下運行時每小時最多可執行1000個晶片，而在掃描模式下則每小時最多可處理20個晶片。為了進一步優化吞吐量性能,它還具有自動缺陷檢測功能,有助於縮短設置時間。最後,TENCOR FT-500配有多種配件和組件,便於安裝和維護。總體而言，FT-500檢驗計量系統為晶圓檢驗計量提供了最高水平的精度和吞吐量。它具有先進的照明、圖像分析和測量工具，旨在提高產量和降低成本。