二手 KLA / TENCOR FT-600 #9081978 待售
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KLA/TENCOR FT-600是一種用於微電子制造的晶圓測試和計量設備。它提供了用於測量和分析廣泛的晶片特性的高級功能,包括電氣、光學、化學和熱特性。該系統可配置為滿足流程控制要求和特定於應用程序的需求。它旨在實現對各種材料晶片的快速、準確和可重復的測量,並快速表征各種集成電路。該裝置配備了一套高速naoccam相機,用於以納米級分辨率成像晶片。成像機可以測量晶片的電性能,確定是否符合規格,額外的光源在整個測試過程中提供晶片的光學監控。它包括色彩校正工具和CCD陣列,用於三維缺陷檢測。該資產高度自動化,能夠準確解釋數百個測試圖像,只需用戶提供最少的輸入即可提供有用的生產信息。KLA FT-600還包括一個可靠的數據處理模型,它可以提供在單個工藝站執行的多個測試的集成結果。利用阻抗和電容測量,可以進行詳細的工藝分析。設備的機載分析軟件允許測試結果與特定掩碼快速關聯,從而促進過程優化。有一系列化學和熱計量選項,如板載質譜儀和用於測量薄膜的紅外溫度傳感器。總體而言,TENCOR FT-600是需要更高精度和重復性的測量結果的電子設備制造的理想選擇。它提供了一套全面的晶圓測試和計量能力,幫助半導體、光伏和光電制造商創造出更高效可靠的產品。
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