二手 KLA / TENCOR FT-600 #9376730 待售

KLA/TENCOR FT-600是一種全自動晶圓測試和計量設備，旨在提供先進半導體器件測量的最佳可靠性和準確性。KLA FT-600采用最新的高級高分辨率成像和塗層技術,為各種計量目標提供卓越的性能。該系統由兩個主要組成部分組成：執行計量、電氣和光學測量的綜合子系統（IS）和提供測試和計量所需的高級塗層能力的自動塗層子系統（ACS）。IS模塊包括一個40 nm分辨率的成像模塊,用於生成尺寸可達300 mm的晶片的高分辨率圖像。高級算法用於分析這些圖像,以測量垂直尺寸輪廓、表面粗糙度以及缺陷大小和數量等關鍵參數。該單元還包括一個電氣和光學子模塊，可以測量歐姆接觸電阻、二極管和MOSFET參數剖面、跨導以及其他設備參數值等電氣參數。該子模塊還包括一個光譜響應測量機來測量光學特性，如光譜反射率和透射率。ACS包括一個先進的磁懸浮電動機驅動的塗層單元，塗層樣品高達300毫米。該塗層單元提供光刻膠等保形塗層等材料的光滑、均勻、高精度塗層，與多種光刻等濕法化學工藝完全兼容。該單元還配備了集成的環境和真空控制工具，以確保最佳塗層性能。此外,TENCOR FT-600還包括一個高級軟件套件,用於集成所有資產組件。此軟件套件提供流程自動化、產量優化、數據采集和分析、報告生成以及其他功能。FT-600的設計符合最高的質量和可靠性標準，適合各種計量和生產應用。其先進的成像和塗層性能,加上強大的軟件套件,使其成為滿足半導體行業苛刻需求的理想解決方案。