二手 KLA / TENCOR FT-750 #136435 待售

KLA / TENCOR FT-750
ID: 136435
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Film thickness measurement system, 8", 1994 vintage.
KLA/TENCOR FT-750是一種晶片測試和計量設備,用於評估晶片芯片組的性能。該系統包括用於檢測和分析集成電路(ICs)缺陷的各種高級測試和計量組件。KLA FT-750可用於測試、測量和驗證制造前和制造後晶片芯片組。TENCOR FT 750具有自動高分辨率顯微鏡,用於檢查晶圓表面,使操作員能夠無縫放大樣品的細節,而無需交換目標。顯微鏡還配備了自動6軸定位裝置,使操作員能夠快速準確地高精度地測量和記錄精細特征。此外,KLA/TENCOR FT 750擁有一臺高速串行數據采集機,用於獲取和存儲從晶圓樣本中采集的測試數據。此工具具有高度可配置性,可進行調整以滿足各種測試應用程序的要求。此外,FT 750還包括SMARTSort技術,可幫助對測試過程中發現的缺陷進行分類和分類。KLA FT 750還包括一套功能強大的軟件工具,可以用來分析收集到的晶圓樣本數據。這些軟件工具支持測試數據的自動和手動查看、統計分析、偶極分析、缺陷分類和故障檢測。通過分析收集的數據,工程師可以在解決潛在的設計問題和提高IC的整體質量時做出明智的決策。FT-750還設計用於廣泛的粗糙度測量,使其能夠測量晶圓IC的精確表面形狀。這一資產非常適合測量凹凸結構和死層厚度的根域。此外,該模型還具有尺寸測量能力,包括基於光學、電學和原子力顯微鏡的方法,利用離軸成像和電壓對比度方法來可靠地測量集成電路的厚度和形態。綜上所述,TENCOR FT-750是為檢測和分析集成電路中的缺陷和其他特性而設計的綜合性晶圓測試和計量設備。該系統具有自動化的高精度顯微鏡、高速串行數據采集單元、SMARTSort技術和強大的軟件工具。這臺機器非常適合測量晶片的確切表面形狀以及它們的根場和死層厚度。
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