二手 KLA / TENCOR FT-750 #293652818 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750是一種晶片測試和計量設備,旨在提供300 mm和更大半導體晶片的精確、可靠和可重復的測量結果,並在生產環境中進行模具測量。該系統提供全面的測試功能，包括自動缺陷檢查、自動粒子分析、光學和電氣測量、叠加、缺陷辨別和故障分析。KLA FT-750是一種高精度、自動化的單元，利用計算機控制的多傳感器幹涉儀、電荷耦合器件攝像頭、高速鏈接的機器人子系統和精密的用戶界面。TENCOR FT 750交付的幹涉儀是一臺高精度成像機，包括光電工具、幹涉儀、機械級和機械手，能夠從不同角度對半導體結構進行成像。這一資產包括一種先進的傅立葉變換幹涉儀，旨在在包括光刻、過度蝕刻、前端線（FEOL）和後端線（BEOL）在內的廣泛應用中精確測量和成像各種程度的地形和光學對比度變化。CCD相機提供了高分辨率圖像在廣泛應用中所需的穩定性和準確性。金屬密封機器人子系統有助於在幹涉儀和用戶工作臺之間快速、準確地加載和卸載晶圓,而且高度直觀的用戶界面允許使用預定義的特征和測試過程配方實現自動測量序列。KLA FT 750模型還包括完整的統計分析功能,能夠測量由於開發和生產過程而導致的特征輪廓變化。這些功能以及準確的缺陷成像功能可實現可靠的缺陷分類和表征。該設備還包括一套全面的系統管理工具，包括計量過程監控、自動化操作員提示功能、性能和測量順序優化以及錯誤報告。這一通用而全面的單元允許用戶訪問所需的數據,同時消除了手動步驟並縮短了周期時間。總體而言,FT-750是一臺先進的晶圓測試和計量機器,可提高自動化程度、提高準確性和可靠性,並提高吞吐量。該工具提供了一系列全面的功能,允許用戶在生產環境中監視和收集數據,同時還提供全面的統計分析功能。該資產的用戶界面允許自動測量序列以及簡化缺陷分類和表征,使其成為半導體應用的理想解決方案。