二手 KLA / TENCOR FT-750 #293754146 待售
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KLA/TENCOR FT-750是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在實現計量過程的自動化並顯著提高生產企業的產量。該機利用先進的光學成像,以及高速模數轉換器進行快速數據采集。它可以檢測缺陷,測量叠加,並在單個操作中定性分析晶片上的各種膜參數。KLA FT-750的光學系統設計為高速獲取16位深度的整個晶片的動態圖像。它利用高速可編程擺動掃描儀和光學探測器陣列,兩者都完全集成在單元中,以產生最佳的圖像采集。為了進行覆蓋和薄膜厚度測量,TENCOR FT 750使用了一系列探測器和高精度、非接觸式光學編碼器。為確保準確分析,KLA FT 750使用陣列模式識別算法來檢測諸如點蝕、粒子和線緣粗糙度等特征。它還使用一套晶圓映射軟件來收集晶圓缺陷、覆蓋和厚度變化的數據。KLA/TENCOR FT 750可以在單個操作中檢測晶片上的缺陷、測量叠加、定性分析原膜參數。它設計為易於使用並配置了拖放配方和直觀的圖形用戶界面。在硬件方面,FT 750配備了精密的機器人處理系統,旨在提高晶圓測試的吞吐量和一致性。它還具有高度優化的可控減振機,以減少刀具中的振動,減少計量結果的變化。此外,該資產還包括一個可檢測晶片表面缺陷和裂紋的綜合視覺檢測模型。總體而言,TENCOR FT-750是一種能幹的晶圓測試和計量設備,旨在提高生產企業的質量和產量。它利用先進的光學成像和復雜的軟件算法陣列,同時檢測缺陷,測量叠加,定性分析原始膜參數。此外,該系統還配備了精密機器人處理系統和減振裝置,旨在提高速度和精度。
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