二手 KLA / TENCOR FT-750 #69314 待售

KLA/TENCOR FT-750是一種晶圓測試和計量設備,專為200 mm以下的前端生產過程而設計,旨在提供要求苛刻的蝕刻和陣列應用所需的精度和準確性。高度自動化的系統可以分析包括亞表面線、超寬和缺失線缺陷在內的多種缺陷類型，以及測量線寬、薄膜厚度和表面阻力。KLA FT-750晶片測試和計量單元是建立在一個真正的成像CDSEM的概念，它結合了優越的分辨力，優越的模式對比度和廣泛的對比度範圍，確保準確的缺陷檢測。TENCOR FT 750機器利用先進的高分辨率光學器件，提供高達0.20微米的分辨率。該工具包含一個自動真空吊艙，為快速樣品交換創造了恒定的高真空，增加了吞吐量。FT-750包括一個模片式自動晶片映射工具以及高級軟件工具,如多標準評價算法,以便對各種缺陷和過程特性進行詳細分析。KLA/TENCOR FT 750還提供了強大的深度分析功能,這是一項重要功能,使用戶能夠全面了解樣品,最大限度地提高缺陷調查和過程控制。該資產設計為可配置和可擴展,允許用戶自定義和升級模型以滿足其需求。KLA FT 750設備非常可靠,這要歸功於除塵算法等功能,使系統能夠以最高性能運行並減少晶圓斷裂。該單元還包括用於高通量測量的索引表和自動提升接觸器。開放接口允許FT 750輕松集成到現有的工藝監控平臺中，為運營商提供晶圓條件的詳細信息。綜上所述,TENCOR FT-750是一種高度可靠的自動化晶圓測試和計量機器,旨在支持高達200 mm的前端生產過程。該工具提供高達0.20微米的分辨率、可自定義和可擴展的配置、缺陷檢測和過程控制以及集成接口,使資產適合任何生產環境。