二手 KLA / TENCOR FT-750 #9155149 待售
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ID: 9155149
Wafer thickness measurement system, 4"-6"
Voltage: 115 V
Measures:
Single
Multilayer films
410" - 800" Reflectivity range contour
Die
3D Mapping
COGNEX 3100-4MB
Vision system version: 1.20A
Olympus MS plan:
2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x
Auto focus: 1.5-5
Second measure time integrated
(2) Cassettes elevators
Wafer sorting capability
Integrated finder vacuum reset
Frequency: 50/60 Hz
Current: 1250 W.
KLA/TENCOR FT-750是一種最先進的晶圓測試和計量設備，可以提供半導體晶圓、IC和組件的綜合分析。KLA FT-750設計用於協助晶片制造過程,如光刻、粘合、薄膜沈積和蝕刻,快速測量和表征各種關鍵參數,並獲得準確和可重復的結果。TENCOR FT 750系統基於將光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡和其他計量技術結合為一體的先進平臺。該設備具有自動晶片負載和定位功能,可提供業界領先的吞吐量、卓越的精確度以及計量、成像和3D輪廓測量的可重復性。此外,該機器還能夠精確地測量幾個關鍵晶片參數,包括表面粗糙度、粒數、缺陷密度、薄膜厚度、臨界尺寸等。KLA FT 750配備了自動晶圓映射、超精確Z軸以及功能強大、基於PC的控制工具等幾種基本工具和組件。此外，CCD成像資產采用高分辨率元件和先進軟件算法構建，用於快速、準確、可重復的成像和分析。該模型的直觀控制設備使操作員能夠快速高效地設置、校準和控制測量。KLA/TENCOR FT 750是一個堅固、可靠、準確的系統,在各種晶圓測試應用中提供卓越的質量結果。它具有用於精確運動控制的超平滑晶圓旋轉機構,以及用於缺陷和粒子特性分析的專有軟件,可實現復雜的3D重建。憑借其自動化的映射能力，FT 750可以在一個通道內高效測量多個關鍵參數，此外，該單元設計具有高精度和重復性。TENCOR FT-750得到KLA著名客戶服務的支持,以及一系列旨在使機器保持最佳狀態的技術和培訓支持。因此,FT-750是各種晶圓測試應用程序的理想選擇,可提供可靠高效的結果,使工程師能夠優化流程質量和性能。
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