二手 KLA / TENCOR FT-750 #9173658 待售

KLA/TENCOR FT-750是下一代晶圓測試和計量設備。它旨在滿足半導體器件制造中不斷增長的吞吐量和精度要求。它配備了先進的光學、運動控制、數據收集和分析能力，所有這些都由先進的系統架構進行監控和控制。該單元利用一個強大的成像引擎來生成超高清晰度和分辨率的亞微米圖像。成像引擎由一臺高解析度數碼CCD相機、Autofocus TM鏡頭和一個增強型LED光源照明組成。改進後的成像機實現成像能力高達16倍以前型號的分辨率。KLA FT-750擁有一種創新的光學計量學工具，可以精確測量各種關鍵設備特性。綜合計量資產利用亮場和暗場成像系統，結合三維點掃描，測量橫跨晶圓小至0.2微米的特征。TENCOR FT 750的成像和計量能力得到了一個健壯的運動控制模型的補充。該設備由三個驅動級組成,可提高晶圓定位精度.此外，還采用了復雜的基於視覺的對準系統，以確保將圖像準確地配準到測量中。FT 750單元的內部數據收集和分析功能使用復雜的算法來表征缺陷位置、大小和形狀。這些算法與強大的數據庫工具和自動缺陷分類相結合，有效地分析和報告測試結果。該機器設計用於與其他半導體測試和計量設備的集成，允許高效的數據傳輸和報告。TENCOR FT-750還能夠利用現成的軟件工具幫助報告測試結果和其他分析任務。總體而言FT-750是一種先進的晶圓測試和計量工具，具有創新能力。其強大的成像、計量、運動控制和數據收集/分析功能提供了高度準確和可靠的晶圓特性。該資產能夠提供滿足下一代半導體晶圓制造要求的功能。