二手 KLA / TENCOR FT-750 #9377280 待售

KLA/TENCOR FT-750晶片測試和計量設備是一套綜合硬件和軟件，用於檢測和測量先進晶片制造工藝。它將先進的計量和缺陷檢測技術結合到一個系統中，以進行高精度、高通量的晶圓測試和計量。KLA FT-750通過基於視覺的檢測技術和自動無損晶片測試對整個晶片表面和在線計量進行自動檢查。TENCOR FT 750具有高速掃描能力和單個單元中的多種工具,能夠快速準確地檢查晶片的缺陷並對其進行表征。該機還包括KLA Advanced Inspection Technologies （AIT），它為每個刀具提供獨立於平臺的缺陷檢測和標準操作軟件（SOS）以及TENCOR缺陷診斷工具（DDS）的缺陷診斷。獨立於平臺的AIT技術有助於彌合SEM映像中可見的特征與相關缺陷趨勢之間的差距。KLA FT 750由晶圓測試站、晶圓計量站和掃描儀三部分組成。晶圓測試站配備了強大的攝像頭資產，提供晶圓的快速檢測和計量。掃描儀是一種高速、多軸的機器，負責掃描晶片，然後將圖像傳輸到晶片計量站。晶圓計量站是模型的主要主力軍，將晶圓檢測和計量技術結合成一個平臺。它配備了兩個晶圓檢查任務--一個光學檢查站和一個掃描電子顯微鏡（SEM）--以及四個自動計量任務。自動化計量任務包括電阻率測量、叠加測量以及AFM成像和深度剖析。FT 750晶圓測試和計量設備為晶圓測試和計量提供了高效的系統。其集成的硬件和軟件能夠對晶片進行快速、準確的檢查和測量，以實現最大產量和過程控制。憑借其AIT技術，以及高速掃描能力和多種工具，FT-750是晶圓檢測和計量的理想選擇。