二手 KLA / TENCOR FX 100 #9240150 待售
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KLA/TENCOR FX 100是一種頂級的計量和晶圓測試設備，設計用於提供半導體材料的精確測量。該系統提供先進的技術，為晶圓測試和計量提供最準確的結果。KLA FX 100具有高分辨率的成像傳感器單元，用於精確測量半導體晶片的特性。這臺機器可以測量到亞微米尺寸的材料特征。此外，該工具還配備了高分辨率成像資產，以便能夠產生晶圓的精確三維視圖。這允許用戶精確測量Critical Dimension （CD）。該模型還利用高速、多軸級精確成像完整的晶圓測試區域。對於非接觸式計量，設備還配備了一個健壯的非接觸式計量模塊，可以測量晶圓的表面地形和缺陷特征。非接觸式計量模塊能夠識別各種缺陷類型,包括凹坑、位錯、階梯切口和空腔。該系統還配備了高度先進的晶圓驗證單元，以確保晶圓測試結果的準確性和可靠性。晶圓驗證機能夠對晶圓進行全面的電氣和機械測試。這些測試包括半導體器件表征、電氣參數測試和各種完整性測試。該工具甚至可以在測試前驗證晶片的完整性。TENCOR FX 100還擁有自動晶圓處理資產，為晶圓測試提供速度和精度。該模型能夠快速可靠地加載和卸載晶片。再者，設備有一個自動化的配方系統，最多可以儲存50個配方，讓操作員探索測試參數的不同組合。為了增加用戶便利，FX 100單元還具有基於Windows的圖形用戶界面（GUI）。這允許用戶通過直觀的界面快速訪問和控制機器的各種測試操作。GUI還提供自動化的數據分析工具,以便能夠快速準確地評估測試結果。KLA/TENCOR FX 100是業界領先的晶圓測試和計量工具,它提供創新技術和先進功能,以確保獲得最精確和準確的結果。其高分辨率成像資產、非接觸式計量模塊、晶圓驗證、自動晶圓處理和自動配方模型，使其成為晶圓測試和計量的可靠而堅固的設備。
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