二手 KLA / TENCOR FX 100 #9246541 待售

KLA/TENCOR FX 100是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提高產量並降低半導體制造的廢品率。它利用光學幹涉儀、掃描電子顯微鏡和自動缺陷檢測系統的組合來檢測和測量各種半導體晶圓類型上的不同類型的缺陷。KLA FX 100系統配置包括兩個掃描頭：一個大場幹涉儀和一個高密度光學顯微鏡。這些掃描頭配有選擇的光學幹涉儀、數字成像單元和長距離顯微鏡。機器的設計將精密計量與測量角度、距離和方位角的能力結合在一起，具有可靠的重復性。它能夠從整個視場中捕獲數據，測量誤差低，在各種各樣的晶圓類型上精度高。在缺陷定位和測量方面，TENCOR FX 100工具采用先進的光學和電子顯微鏡以及自動檢查系統。這些傳感器可以檢測和測量各種類型的缺陷，如顆粒、空隙、位錯、表面不均勻和結構受損區域。FX 100還具有自動測量、統計分析、晶圓映射、產量分析和缺陷跟蹤工具。為確保半導體制造中的質量控制，KLA/TENCOR FX 100可以使用多種叠加和對準技術精確測量所有類型的半導體晶片。為了減少自動化和手動測試的數量,KLA FX 100資產配備了一個集成的計量控制臺。該控制臺包括一個自動計量界面,用於有效的缺陷定位和測量。該模型還包括一個高通量的機器人晶片處理程序，它設計用於快速晶片處理和快速應力測試。TENCOR FX 100是測試和計量的集成設備，旨在幫助提高半導體制造的產量並提高生產效率。該系統先進、高精度的光學和電子顯微鏡與自動檢查系統相結合,能夠識別和測量各種缺陷,而集成的計量控制臺和自動晶圓處理器可減少測試時間和成本。為了確保半導體制造的質量控制，FX 100晶圓測試和計量單元是一個強大而可靠的解決方案。