二手 KLA / TENCOR FX 200 #293628442 待售

KLA/TENCOR FX 200是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體的制造和檢驗。KLA FX 200建立在一個正在申請專利的光學成像系統之上，該系統使用激光、顯微鏡和先進光學器件來創建一個聚焦成像單元，能夠執行到納米級的計量任務。該機具有高分辨率成像、測試結構在基板上的測量和定位四個通道，支持覆蓋、高度、平面和形狀測試等先進表征的多種測量技術。TENCOR FX200工具能夠測量芯片上20納米尺寸的特性,同時保持高精度、高分辨率和高吞吐量。它整合了光顯微鏡、幹涉測量、地形和散射測量等幾種高分辨率成像技術來分析晶片和基材。這種光學成像、基於激光的計量和具有精確光刻功能的定位相結合,使資產能夠精確測量各種圖案、形狀、方向和大小的10 nm大小的特征。FX 200還包括一個自動校準模型，可以精確測量和調整用於尺寸計量的參數，如焦點、放大倍率、工具分辨率和檢測範圍。這種校準設備經過優化，能夠以較快的吞吐量進行高精度測量。此外，自動化的基板處理系統允許用戶快速、輕松地轉移晶圓基板。KLA/TENCOR FX200還提供了一些專門的軟件應用程序,旨在幫助進行芯片檢查、測量和報告。這些應用提供了高精度和可追蹤性的預測結果。這要歸功於幾個功能，例如可定制的用戶界面，它允許用戶調整其獨特應用程序的儀器配置。該單元還包括一個位於儀器用戶界面上的數據輸入和管理工具，該工具簡化了計量數據的收集和檢索。總體而言，KLA FX200晶片測試和計量機是一種可靠和準確的計量器，能夠測量到納米尺度。自動化校準和基板處理系統及其專門的軟件應用，使TENCOR FX 200成為半導體制造和檢驗行業功能強大、用途廣泛的工具。