二手 KLA / TENCOR FX 200 #9353225 待售

KLA/TENCOR FX 200是一種專註於晶圓測試和計量的設備。它結合了多種集成的表面分析技術，為晶圓級應用提供高吞吐量和可靠的計量。其堅固可靠的設計確保了晶圓測試和檢驗的高通量運行和提高效率。KLA FX 200系統包含三個主要組件：兩種互補的綜合表面分析技術-原子力顯微鏡和橢圓偏振法,以及一種獲得專利的3D成像裝置。它還包括先進的掃描技術和不斷增長的用戶可編程計量方法庫，以滿足半導體行業不斷變化的需求。其光學探測能力是現有最先進的；TENCOR FX200機器能夠捕獲晶圓基板的自上而下和側視圖。專門的成像模式可確保精確測量的準確性,這對於大容量操作的成功至關重要。橢圓偏振模塊提供卓越的性能,以獲得盡可能最精確的反射率值,並且該工具可確保快速測量具有多種類型材料的層。利用原子力顯微鏡模塊有效測量晶圓生產過程中的表面粗糙度。其先進的校準方法提供了高度精確的3D曲面輪廓,這對於確保表面光滑至關重要。資產強大的數據分析工具能夠有效評估掃描數據。這些工具為快速確定曲面屬性提供了易於使用的界面。此外，TENCOR FX 200型號支持手動和自動操作，因此用戶可以根據需要在兩種不同的處理模式之間切換。總之，KLA FX200是領先的晶圓測試和計量設備，提供高度精確的測量能力。它是為了自動化而設計的，因此可以以更高的可靠性和準確性在大批量的生產設定中使用。其最先進的技術和強大的數據分析工具確保計算出的結果既可靠又準確。