二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293601223 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一種晶圓測試和計量設備，設計用於高通量、高精度和高分辨率的測量。經過優化，為模具級、晶片級、亞模具級測量提供了快速可靠的測量結果。該系統具有增強的光學單元、高分辨率圖像傳感器和集成軟件包,能夠測量電氣和光學參數。該機能夠處理8英寸至300毫米的基板，並提供快速校準和優異的計量重復性。KLA HRP 340包含許多光學、電氣和數字組件,以確保精確和可重現的測量。光學工具包括先進的高分辨率相機、高靈敏度的CCD相機和獲得高分辨率圖像的數字顯微鏡。該資產還配備了全自動充電器放電器，從而無需頻繁校準。該模型還具有一個自動對準和定位晶片以進行測試的集成階段。該設備允許進行手動和自動測試，並配備了一整套軟件，包括晶片級測試工具、芯片級和模塊級測試工具以及數據驅動分析軟件。該軟件允許測試摻雜劑剖面和雜質分析等電氣參數，以及表面粗糙度和折射率等光學參數。數據驅動軟件還可以提供晶圓級宏微缺陷檢測。TENCOR HRP 340還具有雙面計量系統，提供高精度的計量結果。該單元包括一個單像素光學傳感器、一個雙通道CCD傳感器和一個激光位置傳感器。光學傳感器可精確測量表面粗糙度、晶粒尺寸、表面紋理和線寬。雙通道CCD傳感器提供線寬、線寬方差、邊緣放置誤差和叠加精度的精確測量。激光位置傳感器提供精確的亞微米測量分辨率。總體而言，HRP 340是一種先進的晶圓測試和計量機器，旨在提供可靠和準確的晶圓級測量。該工具具有光學、電氣和數字元件的組合,可實現精確的模具和子模具級測量。該資產還具有用於模級、晶片級和子模級測試的強大軟件，以及用於高精度計量測量的雙面計量模型。有了這些特點，KLA/TENCOR HRP 340是晶圓測試和計量的絕佳設備。