二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293656412 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一種晶圓測試和計量設備，旨在為半導體器件制造提供全面的質量控制。它是一種掃描電子顯微鏡，能夠對微觀結構進行精確的缺陷檢測和計量。該系統針對300毫米（毫米）晶片上的自動化高速晶片測試進行了優化,包括多種功能,可提高吞吐量並提供最高精度。KLA HRP 340基於模塊化體系結構構建,最多可同時執行三個測量和檢查任務。這是一個300毫米單元，單側接入配置，是針對高速晶圓掃描優化。該機還包括一個6英寸漂移改進性能（DIP）表和一個無等離子體的樣品轉移工具。TENCOR HRP 340具有高度先進的成像資產,可實現高靈敏度成像以及具有亞納米分辨率的精確計量測量。該模型包括一個額外的明亮半金屬X射線源和一個高功率紫外線激光，它允許詳細的成像和較長的聚焦深度。高靈敏度電子成像設備的設計是為了能夠精確檢測微缺陷，同時還提供設備表征的3D測量能力。HRP 340還包括一個先進的系統控制和數據采集軟件包（K-STAR）。K-STAR包括自動化的單元控制能力、自動處理測量和成像數據以及自動缺陷分類。它還為眾多行業標準協議（如IEEE、EDA、SIPI、ATE等）提供支持,使KLA/TENCOR HRP 340易於集成到現有生產流程中。KLA HRP 340是一臺最先進的晶圓測試和計量機器，旨在為高靈敏度缺陷檢測和密度測量提供精確的測量和成像能力。它是控制半導體器件制造過程和質量的強大工具,因為它提供了先進的成像工具、資產控制軟件和自動缺陷分類-所有這些都旨在提供最高的質量保證準確性。