二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293662987 待售

KLA/TENCOR HRP 340晶片測試計量設備是一種用於自動晶片缺陷分析和光學設備計量應用的高性能解決方案。KLA HRP 340專為滿足當今半導體行業的苛刻需求而設計,能夠提供納米分辨率和高分析速度-高達40晶圓/小時。該系統由三個子系統組成，方便整個晶圓測試和計量工作流程。第一個子系統是HPR 145計量單元，一個完全集成的機器，結合了四個波長的幾何光學計量機器（GOMM）和激光剖面儀。第二個子系統是Patterned Wafer Inspection （PWI）工具，它包括一個高分辨率的自動化光學檢查裝置和用於檢查窄特征和細線圖案的相關軟件。最後,TENCOR HRP 340包含缺陷審查和分析資產,用於選擇晶片進行深入檢查,並將這三個子系統用於晶片測試和計量應用。利用HPR140計量模型，由四個GOMM和一個激光剖面儀的獨特組合，制造商可以捕獲高分辨率圖像，並以速度和精度分析晶圓的幾何形狀。利用不同的波長技術和自動化技術,提高了精度和吞吐量,提高了納米精度.Patterned Wafer Inspection設備，配備了高分辨率的自動光學檢查裝置和相關軟件，允許對缺陷進行早期檢測和分類。可以精確測量和檢查線寬、線空間和邊緣放置等晶圓特性，以確保無缺陷的制造。最後，缺陷審查和分析系統提供晶片逐個審查和分析，以確保晶片的制造和修復工作得到有效進行。收集晶圓缺陷表征圖像和分析結果,並可以在可自定義的缺陷查看報告中向用戶顯示。HRP 340晶圓測試和計量單元為半導體行業提供了用於缺陷分析和光學設備計量應用的強大而全面的解決方案。KLA/TENCOR HRP 340具有高的集成速度、納米分辨率和全面的缺陷審查和分析子系統,是確保先進半導體制造質量和精度的理想選擇。