二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293762397 待售

KLA / TENCOR HRP 340
ID: 293762397
晶圓大小: 12"
Profiler 2004 vintage.
KLA/TENCOR HRP 340是一種晶圓測試和計量設備,旨在支持生產車間作業和研發工作。該系統提供高精度和高精度的測量,使用戶能夠深入了解其晶片批次的特性,並為過程優化和控制提供必要的數據。KLA HRP 340配備了高度靈敏的應變量規換能器和設計用於測量晶圓背面三維形狀的c軸級。這允許操作員以1 µm的精度測量晶圓的整體形狀、圓度和平坦度。該單元還配備了自動聚焦機,可確保精確和可重復的測量,可重復性± 3 µm。TENCOR HRP 340還配備了一系列軟件工具和選項,讓用戶能夠準確分析晶圓表面的不同方面,如粒度、表面粗糙度和汙染物。該工具還可以檢測和計數缺陷,如劃痕和顆粒。這些測試產生的數據可以用來確定晶片批次的質量,優化工藝參數,開發SPC控制圖。HRP 340還配備了自動校準功能,使用戶能夠快速為各種晶圓尺寸和條件設置資產。此外,該模型能夠利用兩種不同類型的晶圓測試夾具,允許多個晶圓測試配置。這使用戶能夠快速優化其流程設置並最小化檢查時間。此外,設備還具有報告功能,使操作員能夠快速驗證測試結果並確認產品質量。總體而言,KLA/TENCOR HRP 340是一個出色的晶圓測試和計量系統,旨在促進生產車間的快速運行,提供準確和精確的測量,並使用戶能夠快速識別和隔離產品質量問題。該設備強大的軟件功能、嚴格的測試協議和自動校準功能使其成為高級流程開發和控制的傑出選擇。
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