二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293777442 待售

KLA/TENCOR HRP 340晶圓測試和計量設備旨在為晶圓測試和測量提供自動化、精確和可靠的結果。該系統具有廣泛的功能,包括全場成像、光掩模缺陷計量、臨界尺寸（CD）和蝕刻深度測量、過度蝕刻CD分析以及超高精遠心觀測。KLA HRP 340配備了25X遠程中心立體聲顯微鏡、6英寸激光幹涉儀，以及在封閉的檢查環境中可同時支撐多達四個晶片的電動x, y, z級。它提供了所有可用晶圓測試單元中最高的動態範圍，其可變放大倍率允許在納米範圍內進行精確測量。TENCOR HRP 340的核心是其強大的成像和計量引擎。利用8路圖像處理管道對復雜缺陷進行快速分析，具有近紅外成像和測量能力，可提高景深。這使得HRP 340可以快速分析光掩模異常，如針孔和異物粒子，並識別和精確測量多個缺陷結構的尺寸，包括接觸孔、溝槽和線緣粗糙度（LER）。機器的高級軟件包括CD/臨界尺寸計量工具,如輪廓、線條輪廓、等值線和平面度,確保精確測量。它還提供高分辨率的自動模式匹配和異常查找功能,使其成為粒子檢測和高通量測量的理想選擇。除了這些功能外,KLA/TENCOR HRP 340還具有一鍵晶片對準和旋轉補償功能,使操作員能夠快速準確地重新定位和測量晶片,而不會浪費寶貴的時間或資源。它還配備了自動對焦模塊,可確保最佳圖像質量,同時降低未對準的風險。KLA HRP 340符合SEMI和SEMI Standards，在半導體工業中已成功用於3D表面輪廓和線寬測量。總體而言，TENCOR HRP 340晶圓測試和計量工具是晶圓自動檢測的理想解決方案，為精確可靠的晶圓測試和測量提供了全面而有力的解決方案。