二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293794170 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的無損、高分辨率物理檢驗。這種先進的晶圓測試系統利用多攝像頭和數字成像技術，精確測量和檢測晶圓表面的電氣、機械和光學缺陷。其物理檢查能力支持對分辨率為0.25 μ m、聚焦深度為4.5 μ m的380 mm晶片進行晶片檢查，有助於識別晶片表面上的顆粒、劃痕和其他缺陷。設備還能夠一次檢查晶片上的多個模具。晶片上多個模具的檢測是通過其自動聚焦引擎、電動XY級和集成成像機完成的，這有助於提供快速準確的結果。KLA HRP 340為缺陷檢測、測量和表征提供了多種選擇。它包括直流偏置、電容測量和電阻率測量等各種電氣測試，以及線寬、邊緣計數、多邊形計數、CCD像素計數和泄漏電流的測量。此外，它還提供表面分析、缺陷和薄膜厚度檢測、粒子分析和識別等光學測試。其成像能力包括SEM、STM、TEM和高放大成像。其電動XY級有助於最大限度地減少各測試點的模具位置變化，從而確保更好的重復性和結果的可重復性。該工具與符合行業具體要求的高級軟件集成在一起，為分析和報告提供了可靠的數據。該軟件使用直觀的用戶界面構建,捆綁了有效的數據管理和SPC（統計過程控制）解決方案。它還包括符合SEMI標準的食譜,有助於生成符合行業標準的有用報告。TENCOR HRP 340是晶圓測試和計量應用中高分辨率半導體晶片檢測的理想選擇。其先進的特性和能力使其非常適合先進的模具級計量和表征，從而加快晶圓測試和計量的過程。