二手 KLA / TENCOR HRP 340 #9383060 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一種自動化晶片測試和計量設備，使生產工廠能夠快速準確地測量微電子半導體晶片的平面和尺寸參數。適用於測量動態變量（寬度、厚度、表面拓撲等），提供各種計量和電氣應用，確保測量極為準確可靠。該系統采用了先進的圖像處理和模式識別技術。該單元包括一個舞臺、一個樣品支架、一個晶圓取向站、一個旋轉臺以及先進的視覺處理和測量算法。要啟動測量過程,機器將水平級放置在主位置。接下來,操作員將晶片放在樣品支架上,然後手動將其移動到幾個定向位置之一。一旦晶片就位並正確定向，旋轉表旋轉，自動將晶片調整到固定數量的測試位置。在每個測試位置，刀具都能感應晶片的特征，並結合成像和力傳感器技術測量平面和尺寸特征。然後，資產將晶片平移並旋轉回其原始方向，並為下一個晶片的測量做好準備。循環完成後,模型將測量數據存儲在RAM中或存儲到外部設備中以進行進一步分析。KLA HRP 340配備了四種不同用途的處理工具，包括正向散射照明（FSI）和透鏡（TL），用於測量各種平面特征。它可以在準確控制焦點的同時檢測整個晶片的特征。電極尖端角（ETA）是一種用於評估尺寸輪廓的工具。基板輪廓（SP）工具用於測量晶片在舞臺上時的垂直輪廓。總厚度工具（Total Thickness Tool，TTT）設計用來測量總晶圓厚度，以及其他尺寸參數。TENCOR HRP 340實現了可靠和可重復的晶圓測試和計量,從而實現了生產工廠的準確和生產過程。它旨在滿足大量需求,降低成本並確保測量符合最高質量標準。此外，該設備能夠在多個晶片和晶片批次上同時計量，進一步提高了生產效率和速度。